Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements

Описание на русском:
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Статус документа:

Действующий

Формат:

Электронный (PDF)

Количество страниц:

Срок поставки (английская версия):

1 рабочий день

Срок поставки (русская версия):

1 рабочий день

Артикул (SKU):

GOST08473