Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений количества теплоты растворения и реакций
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции