Системы автоматизации производства и их интеграция. Представление данных об изделии и обмен этими данными. Часть 1654. Прикладной модуль. Технические характеристики
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции