Опоки литейные цельнолитые стальные прямоугольные комбинированные размерами в свету: длиной 500 мм, шириной 400 мм, высотой 150; 200 мм. Конструкция и размеры
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки