ISO 20341-2003 PDF

Полное наименование и описание

Стандарт ISO 20341:2003 — "Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials". Описывает методики оценки параметров глубинного разрешения в глубинном профильном анализе методом масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS) с использованием нескольких эталонных δ-слоёв.

Аннотация

Документ задаёт процедуры для определения трёх параметров глубинного разрешения: длины затухания на переднем крае (leading-edge decay length), длины затухания на заднем крае (trailing-edge decay length) и гауссовского уширения (Gaussian broadening) в SIMS‑профилировании, используя несколько δ‑слоёв в качестве референсных материалов. Стандарт не применим к δ‑слоям, для которых состояние ближней поверхности, модифицированное первичными ионами, не находится в установившемся состоянии.

Общая информация

• Статус: Опубликован и подтверждён как действующий международный стандарт.
• Дата публикации: июль 2003 (первая редакция 2003). Некоторые национальные публикации указывают конкретную дату публикации в июле/августе 2003 года.
• Организация-издатель: Международная организация по стандартизации (ISO), технический комитет ISO/TC 201/SC 6.
• ICS / категории: 71.040.40 — анализ поверхности (surface chemical analysis).
• Редакция / версия: Издание 1 (2003), редакция подтверждена в процессе периодических обзоров (последнее подтверждение отмечено в цикле обзора стандарта).
• Количество страниц: по данным ISO — 5 страниц; в некоторых национальных изданиях (напр., BSI) указывается иная разбивка/объём (например, 14 страниц в национальной публикации), что связано с форматированием и оформлением конкретных национальных издательств.

Область применения

Стандарт применяется в метрологических и аналитических лабораториях, занимающихся глубинным профильным анализом методом SIMS, а также в научно‑исследовательских и промышленных задачах по калибровке и оценке разрешающей способности при анализе тонких пленок и многослойных структур. Не предназначен для случаев, когда близкая к поверхности область не достигла стационарного состояния под облучением первичных ионов.

Ключевые темы и требования

• Определение и вычисление трёх параметров глубинного разрешения: leading‑edge decay length, trailing‑edge decay length и Gaussian broadening.
• Использование нескольких эталонных δ‑слоёв (multiple delta‑layer reference materials) для оценки разрешения и проверки воспроизводимости профилирования.
• Ограничения применения: исключение случаев поверхностного трансиента (неустановившегося состояния) и указания на корректное оформление отчётов о измерениях.
• Требования к процедурам измерения, обработке сигналов и представлению результатов для сопоставимости между инструментами и лабораториями.

Применение и пользователи

Основные пользователи: лаборатории поверхностного анализа и метрологии, производители и пользователи SIMS‑оборудования, исследователи материалов (полупроводниковые структуры, тонкоплёночные покрытия, наноструктуры), калибровочные и аккредитованные испытательные центры. Стандарт используется для валидации методик глубинного профильного анализа и для сопоставления характеристик разных приборов и методов.

Связанные стандарты

ISO 20341 входит в область стандартов по анализу поверхности (ISO/TC 201). Рекомендуется рассматривать его совместно с другими документами по SIMS и терминологии, например ISO/TS 22933 (метод измерения массового разрешения в SIMS), ISO 23812 (глубинная калибровка для кремния с использованием δ‑слоёв), а также с соответствующими частями словаря ISO 18115, определяющего термины для анализа поверхности.

Ключевые слова

SIMS, масс‑спектрометрия вторичных ионов, глубинное профильное измерение, глубинное разрешение, delta‑слой, leading‑edge, trailing‑edge, Gaussian broadening, ISO 20341.

FAQ

В: Что это за стандарт?

О: Международный стандарт ISO 20341:2003 описывает методику оценки параметров глубинного разрешения при глубинном профильном анализе методом SIMS с применением нескольких эталонных δ‑слоёв.

В: Что он регулирует?

О: Регламентирует процедуры измерения и расчёта трёх ключевых параметров глубинного разрешения (длины затухания для переднего и заднего краёв и гауссовского уширения), требования к использованию δ‑слоёв и ограничения области применения.

В: Кто обычно использует?

О: Специализированные лаборатории по анализу поверхности, производители и пользователи SIMS‑приборов, исследовательские группы в полупроводниковой и материаловедческой областях, а также метрологические центры.

В: Он актуален или заменён?

О: По данным ISO, издание 2003 года прошло периодические обзоры и было подтверждено как действующее; на момент последней проверки стандарта он указан как подтверждённый/действующий. При необходимости для практики рекомендуется сверять актуальность у национального издателя или у самого ISO при подготовке конкретных процедур.

В: Это часть серии?

О: Да. Это документ в серии стандартов по химическому анализу поверхности и SIMS, разработанных в рамках ISO/TC 201 (Surface chemical analysis). Существует ряд смежных стандартов и технических спецификаций, посвящённых калибровке глубины, измерению массового разрешения и терминологии в области анализа поверхности.

В: Какие ключевые слова?

О: SIMS, глубинное профильное измерение, глубинное разрешение, δ‑слой, профиль, калибровка глубины, ISO.